1. コーティング中に膜厚測(cè)定値に大きなジャンプがある。

2. コーティング中に、結(jié)晶の壽命が來る前に振動(dòng)が止まる。

3. 結(jié)晶が発振しない、または斷続的に発振する（真空中または大気中）。

4. 真空中では発振するが、大気中では発振しなくなる。

5. 大気中では発振するが、真空中では発振しなくなる。

6. 熱的不安定性：蒸発源の加溫中（通常は膜厚測(cè)定値が減少する）およびコーティング終了後（通常は膜厚測(cè)定値が増加する）に、膜厚測(cè)定値が大きく変化する。

7.膜厚の再現(xiàn)性が悪い。

8. コーティング終了後の膜厚の偏差が大きい（密度5g/mlで200オングストローム以上）。

9. 二結(jié)晶または多結(jié)晶の変換に問題がある（非変換またはアパーチャーセンターのミスアライメント）。

10. 結(jié)晶のマウント、測(cè)定値が常に同じ、コーティング中にドロップしない、チップがない。