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鍍膜過(guò)程常見(jiàn)問(wèn)題與解答

鍍膜過(guò)程常見(jiàn)問(wèn)題與解答

1. 在鍍膜過(guò)程中,膜厚讀數(shù)有大的跳動(dòng)。
2. 鍍膜過(guò)程中,在晶體壽命正常結(jié)束前,晶體停止振蕩。
3. 晶體不振蕩或間歇振蕩(在真空或大氣中)
4. 晶體在真空中振蕩,但大氣中停止振蕩。
5. 晶體中大氣中振蕩,但在真空中停止振蕩。
6.熱不穩(wěn)定性:膜厚讀數(shù)在蒸發(fā)源升溫過(guò)程中(通常導(dǎo)致膜厚讀數(shù)減?。┖徒K止鍍膜后(通常導(dǎo)致膜厚讀數(shù)增大)有大的變化。
7. 膜厚的再現(xiàn)性差
8. 終止鍍膜后,膜厚有大的偏離(密度為 5g/ml 時(shí)大于 200 埃)
9. 雙晶體或多晶體轉(zhuǎn)換問(wèn)題(不轉(zhuǎn)換或不對(duì)準(zhǔn)孔徑中心)
10. 晶體安裝,讀數(shù)始終不變,鍍膜過(guò)程中不下降,不提示。

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